Thomas Wächtler

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  Bewertung neuartiger metallorganischer Precursoren für die chemische Gasphasenabscheidung von Kupfer für Metallisierungssysteme der Mikroelektronik

  Katalognummer

  92779

  Fach:

  Elektrotechnik

  Kategorie:

  Diplomarbeit, 2004

  Preis:

  US$ 36,99